主要从事真空泵设备新技术的研发、发展和生产的企业
斯特林专业生产水环式真空泵不同规格的设备

13053327789
当前位置 : 水环式真空泵 > 新闻资讯 > 公司新闻 >

真空泵机组射频放电离子镀装置

点击次数：   更新时间：2017-11-08 18:44     来源：http://www.zkbaa.com/ 【关闭】
        真空泵机组射频放电离子镀装置如图1所示。这种离子镀的蒸发源采用电限加热或电子束加热。真空泵机组蒸发源与基体间距为20cm，在两者中间设置高频感应线圈.感应线圈一般为7匝，用直径3mm的铜丝绕成.高7cm。射频频率为13.56MHz，射频功率一般为0.5-2kW.基体接0-2000V的负偏压，放电的工作压力约为10-3-10-1Pa.只有直流二极型的1%.  
        射频放电离子镀装置 镀膜室内分成三个区域:①以蒸发源为中心的蒸发区;②以感应线圈为中心的离化区;③以基体为中心的离子加速区和离子到达区。通过分别调节热发源功率，感应线圈的射频激励功率，基体偏压等，可以对三个区域进行独立的控制，从而有效地控制沉积过程.改善了镀层的物性。 射频离子镀除了可以制备高质量的金属薄膜外.还能镀制化合物薄膜和合金薄膜。镀化合物薄膜采用活性反应法。在反应离子镀合成化合物薄膜和用多蒸发源配制合金膜时.精确调节蒸发源功率.控制物料的蒸发速率是十分重要的。 在感应线圈射频激励区中.电子在高频电场作用下做振荡运动.延长了电子到达阳极的路径.增加了电子与反应气体及金属蒸气碰掩的概率.这样可提高放电电流密度。正是由于高频电场的作用，使着火气体压强降低到10-3~10-1Pa，即叮在高真空中进行高频放电.因而以电子束加热蒸发源的射频离子镀.不必设置差压板。
上一篇：真空泵机组阀门的特点、种类
下一篇：水环式真空泵(SZ型)的安全操作维护规程

真空泵机组射频放电离子镀装置相关资料

真空泵机组射频放电离子镀装置相关产品

淄博斯特林机械设备有限公司
联系人：
手机：13053327789
电话：13053327789
邮箱：suchenghao888@163.com
地址：山东省淄博市博山区经济开发区