隔膜式真空泵机组阀是利用阀杆将橡胶隔膜直接压在阀座上。用来截止或接通气流。真空泵机组它常装在被抽容器与各种低真空泵之间。其动作原理是旋转手柄使阀杆向下运动，将橡胶隔膜直接压在阀座上，截止气流。反方向旋转手轮，阀杆向上运动，带动橡胶隔膜离开阀座.接通气流。阀门主体采用铝合金铸造。结构简单、质虽轻、体积小，密封性能良好。采用丁腈橡胶的隔膜真空阀，用于前级和预抽低真空管道上及温度-25~80℃的非腐蚀性气体.采用氟橡胶的隔膜真空阀，可用于高真空系统，使用温度范围为-30~150℃. 我国生产的隔膜真空阀，已有系列产品公称通径分别为10mm,25mm,40mm,50mm,其中GM型高真空隔膜周有GM型、GMC型、GM-KF型、GM-D-H(I)型,GM-D-H(Ⅱ)形五种，区别在于阀门的连接法兰的形式。
在相同含水量最情况下，温度越高水蒸气在绝缘材料中的扩散因素也越大。从这两方面看，提高温度对于干燥处理是非常重要的。 为加快干燥过程的进行，提高绝缘材料自身内能和其内部水蒸气的分压强，则必须提高绝缘材料的温度，即要求对绝缘材料进行加热；而通过降低环境空间的压强来提高内外水蒸气压强差△p，则要求采取抽真空的方法。同时采取加热和抽真空两种方法，从两个方面增大△p，可有效地促进水分的蒸发，大大加快干燥速度，缩短干燥时间，提高干燥效率。这就是所谓加热-真空干燥原理。 图1：不同含水量下绝缘材料内水蒸气分压与温度的关系。
