真空泵机组“极限真空”完整名称是“极限真空度”，是指微型真空泵能达到的最大真空度。“极限真空”，真空泵机组表示该状态下，没有任何物质（包括分子、原子等）存在，这只是理论上才存在的状态，实际是不可能达到的。比如，某台抽气能力很弱的微型真空泵，它经过无限长的时间也只能把密闭容器内的气体压力由常态的100KPa降到95KPa，那么95KPa就是这台泵的极限真空度，比如成都公司生产的PM950.2。再比如，有一台抽气能力很强的微型真空泵，它可以把气压由100KPa降到10 KPa，那么10KPa就是这台泵的极限真空度，比如成都公司生产的VCH1028。 极限真空的应用
“极限真空”是真空泵的一个重要参数，是反应泵抽气能力的特性值，是与真空泵相关的一个数值，不同的真空泵可以有不同的“极限真空”度。而“理论真空”是理论研究时的一个概念，是排除各种实际因素的影响而提炼出的一种最理想的真空状态。真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
