无油机械真空泵机组又称干泵 , 这种泵无任何工作液。因此能保证被抽空间清洁 , 对周围环境没有污染,有人称之为“绿色”真空泵机组 。使用它可以提高产品质量 。例如, 显像管内无油污染能保证阴极发射稳定 ,图像清晰 ,使用寿命长;镀膜室内无油, 能提高膜层性能, 增加膜层牢固度等 。因此无油机械真空泵机组适用于真空电子行业。本文所介绍的无油机械真空泵机组均指直排大气的泵。
所谓无油是指在泵腔内不使用油类和液体 , 而传动的齿轮和轴承还需要油类润滑 ,只是油蒸气不允许进入泵的吸气口。无油机械真空泵机组的种类很多, 按泵的结构 ,可分成接触式和非接触式两大类。接触式是指泵的运动件与静止件之间有接触、摩擦 ,如旋片泵 、活塞泵等 ,其最大压缩比随压力大小无大幅度变化, 在接近大气压时比非接触式压缩比大。