水环式真空泵涡旋泵有两种形式

点击次数：更新时间：2018-01-09 17:50 来源：http://www.zkbaa.com/ 【关闭】

水环式真空泵涡旋泵有两种形式,一种是一个涡旋固定不动,另一个涡旋围绕着它公转平动而不能自转,水环式真空泵这是公转型;另一种是两个涡旋同步同方向各自绕自身轴转动的回转型,它的两个旋涡都是动涡旋。公转型多为双腔卧式泵,回转型多为单腔立式泵。给出了公转型泵的工作过程。这种泵压缩平稳,驱动力矩变化小,噪音低,相邻的两个月牙腔容积的压差小,间隙泄漏小,端面有密封,可得到较高的压缩比。

缺点是涡旋加工困难,装配、测量、调试都有难度,造价较高。常规选泵的办法是根据工艺过程需要的真空度选择泵的种类,根据放气量选择泵的抽速。而在真空电子技术领域里选择真空泵还应该考虑环境的清洁、工艺过程、反应气体的种类、反应产物的粒度等问题。以无油机械真空泵的选择为例,如果反应生成物中含有颗粒,就不应该选用表面接触类型的泵,如活塞型或旋片型泵等。

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