真空泵机组对于单级泵而言,由于在间隙处存在泄漏,罗茨泵存在返流,真空泵机组即通过转子之间的径向间隙,转子与泵壳之间的径向间隙以及转子与泵壳之间的轴向间隙由排气侧向进气侧的返流,因此实际抽速要低于理论抽速。假定pA为吸入压强,pV为排气压强,C为间隙的总流导,罗茨泵有效抽气量Qeff可从理论抽气量Qth和通过间隙从排气侧向吸气侧返流量Q之差来确定。
增压泵使用,此时粘滞流态间隙返流占主导作用,忽略掉吸附在转子表面的返流以及有害空间的气体返流。将间隙看作薄壁孔,计算其粘滞流流导[9]C=200A(m3/s)(18)式中,A为间隙的总面积。在此工况下的罗茨泵,气体温度要远远高于室温,由于泵腔有水冷系统的存在,取气体工作时的温度60℃。间隙的总面积A由以下几部分组成:转子与泵壳间隙δ1,转子与转子间隙δ2和转子与泵壳侧壁间隙δ3、δ4。经过计算三轴罗茨泵其零流量压缩比为K0=8.4,对于双轴式罗茨泵其K0=6.1。