无油机械真空泵机组又称干泵,这种泵无任何工作液。因此能保证被抽空间清洁,对周围环境没有污染,有人称之为“绿色”真空泵机组。使用它可以提高产品质量。例如,显像管内无油污染能保证阴极发射稳定,图像清晰,使用寿命长;镀膜室内无油,能提高膜层性能,增加膜层牢固度等。因此无油机械真空泵机组适用于真空电子行业。本文所介绍的无油机械真空泵机组均指直排大气的泵。
所谓无油是指在泵腔内不使用油类和液体,而传动的齿轮和轴承还需要油类润滑,只是油蒸气不允许进入泵的吸气口。无油机械真空泵机组的种类无油机械真空泵机组的种类很多,按泵的结构,可分成接触式和非接触式两大类。接触式是指泵的运动件与静止件之间有接触、摩擦,如旋片泵、活塞泵等,其最大压缩比随压力大小无大幅度变化,在接近大气压时比非接触式压缩比大。非接触式是指泵的两运动件之间或运动件与静止件之间没有任何接触,转子需要高速旋转,如罗茨泵、爪型泵、螺旋型泵等,其最大压缩比随压力变化而变化,接近大气压状态时,压缩比很小,因此需要多级组合抽气。
