涡旋真空泵机组是利用一对结构相同、相位相差180°的涡盘在一定偏心距下相互啮合形成的月牙形容积周期性的变化达到抽真空的目的。它具有可靠性高，振动小，噪声低，易于维修等优点。根据转动方式的差异，真空泵机组可分为公转型和自转型两种。二、涡旋式真空泵机组早在20世纪80年代早期，CoffinDO就已经把涡旋真空泵机组应用在高真空系统中。涡旋真空泵机组的研究热潮始于20世纪80年代末期。1988年，日本东京大学的MorishitaE研制了抽速为200L/min的立式自转型油润滑涡旋真空泵机组，其结构如图1所示。与公转型涡旋真空泵机组相比，该泵的径向间隙具有易于密封和控制的优点。
与当时市场上广泛使用的旋片真空泵机组相比，涡旋真空泵机组具有更高的容积效率，极限压力达到1×10-4下降了80%，泵内的振动和噪声水平都有所降低。此外结构更紧凑，整机的重量和体积分别减少了12%和40%。的研究表明了涡旋真空泵机组的高效性，并对如何消除余隙容积、控制间隙等提出了有效的方法。随着涡旋真空泵机组在半导体行业中应用的不断扩大，人们开始致力于干式涡旋真空泵机组的研究。干式涡旋真空泵机组与油润滑涡旋真空泵机组的区别在于泵腔内不含任何的油类和液体。因此解决泵内的密封和冷却问题，是干式涡旋真空泵机组研究的关键。1990年，研制了抽速为600L/min的卧式干式涡旋真空泵机组，其结构所示。该泵可以达到的极限压力为5×10-3它采用水冷的方式解决泵内各部件的润滑和冷却等问题。冷却水通过主轴内的通道对电动机、轴承、轴封等处进行冷却。
