真空泵机组是一种旋转式变容积气体输送泵，包括干式螺杆真空泵机组、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵，真空泵机组具有在较宽的压力范围内有较大的抽速等特点，被广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；
(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；
(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；
(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。
结构拆卸检修过程中还发现真空泵机组非驱端轴承止推间隙增大。非驱端轴承为圆柱辊子止推轴承，型号为NUP222EM ，发挥着对叶轮定位的作用。此轴承止推间隙增大导致运行过程中叶轮窜量增加。与此同时，排气圆盘表面结垢严重，叶轮端面与吸排气圆盘之间的间隙因吸排气圆盘表面结垢而减小。转子窜量增大而叶轮与吸排气圆盘之间的间隙减小，导致叶轮窜与吸排气圆盘内表面发生严重摩擦。
