真空泵机组基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。随着真空应用的发展，真空泵机组的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵机组组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵机组都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵机组。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵机组按其性能要求组合起来，以机组型式应用。
常用真空泵机组包括干式螺杆真空泵机组、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵机组相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵机组应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵机组行业实现了持续稳定地快速的发展。
