真空泵机组一种无内压缩的旋转变容式真空泵，又称机械增压泵，其优点是在较低的入口压力时具有较高的抽气速率，真空泵机组它是目前获得中、高真空的主要抽气设备之一，其工作原理与鼓风机相似，主要由一对同步高速旋转的“8”字形转子与两个半圆形的泵腔组成（如图一）。真空泵不能单独排气，必须与前级泵（如滑阀泵、旋片式真空泵、水环式真空泵、油环泵等）串联使用，待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到真空泵所能接受的压力时才能开始工作，否则将会因过载和过热而损坏。在前级泵进气口前面串联上真空泵组成机组可提高前级泵的真空度，在有效范围内大大提高抽气速率。真空泵的极限压力由前级泵决定，技术参数表中数据为标准配置（配用双级油封式机械真空泵）时的最低极限压力。
真空泵在在很宽的压强范围（1~1×10 4pa)有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸气不敏感，所以广泛使用于真空浇铸、真空熔炼、真空脱气、真空镀膜行业及化工医药行业的真空蒸馏、真空干燥等。真空泵的结构如图一所示。在泵腔内，有二个"8"字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。真空泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将泵串联使用。
