参数名称 参数定义
真空泵机组的极限压强 泵的极限压强单位是Pa，是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作，真空泵机组在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。
真空泵机组的抽气速率 泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试 验罩，并按规定条件工作时，从试验罩 流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。
真空泵机组的抽气量 真空泵机组的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。
真空泵机组的起动压强 真空泵机组的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。
真空泵机组的前级压强 真空泵机组的前级压强 单位是Pa，它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵机组的出口压强。
真空泵机组的最大前级压强 真空泵机组口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了 能使泵损坏 的前级压强。
真空泵机组的最大工作压强 真空泵机组的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量 的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。
真空泵机组的压缩比 压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。
真空泵机组的何氏系数 泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。
真空泵机组的抽速系数 泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。
真空泵机组的返流率 泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。
水蒸气允许量 水蒸气 的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。
最大允许水蒸气入口压强 最大允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。
