往复式真空泵机组(又称活塞式真空泵)的极限真空，单级为4 X 102Pa--103Pa，双级可达1Pa,抽速范围45m3/h-20000m3/h，用于从密封的容器中抽除气体。真空泵机组被抽气体很度不超过35t,如果加上辅助设备，如冷冻器，也可以抽燕气。往复式真空泵的排气t较大，多用于真空浸渍、钢水真空处理、真空蒸馏、真空燕发、真空浓缩、真空结晶、真空干澡、真空过滤及混凝土的真空作业等方面抽除气体。
往复式真空泵对于抽除腐蚀性的气体或含有孩粒状灰尘的气休是不适用的。被抽气休中如果含有灰尘，在泵的进口处必须加装过滤器。无油往复真空泵由于采用自润滑材料的活塞环、密封环，气缸内无须加油润滑;在气缸与机体之间加设隔油腔(其长度大于一个行程长度)，阻止机体内润滑油沿活塞杆漏人气缸，所以该泵对被抽系统无污染。无油往复真空泵有立式和卧式两种结构。该泵的应用范围是:①需要清洁真空的环境中;②在气体禽要回收时，可在充气腔充人回收气体，以保证气体的纯度;③当抽除易燃易爆气体时，可向隔离腔充人惰性气体，使空气(助嫌剂)无法漏人气缸，避免事故发生。
