真空泵机组一般的无油干式泵和油封机械泵相比，其压缩比较小，要克服高的压力差，向大气直接排气，还需要抽除大量的颗粒物，真空泵机组因此选择有效地抽气机构是非常重要的。爪式泵油高的容积效率和内压缩，转子可告诉无接触的运转，是实现干式抽气较好的抽气机构，但它也需要多级串联方能达到所需的极限压力。爪型转子除能压缩气体之外，还有转子自行开闭的阀门作用，即周期地开闭泵腔的入口和出口。由于有内压缩和这种阀门作用，可实现高的压缩比和高的容积效率。在功率消耗低的情况下有较高的抽速。被抽气体的种类对压缩比的影响较小。转子与泵体之间的间隙较大，小颗粒物很容易抽除。这种抽气原理的干式泵，目前我国已有多家生产。
下面以全爪型转子的四级泵为例介绍下：该泵的主轴为垂直安装，气流可从顶部向底部流动，这样的不知有利于颗粒物及液体的排放。各级泵腔的抽气容积除第一级较大外，其他各级均相等。由于抽气郭鹏程在各级间隙的返流所处的流动状态的不同，其各级反流情况也不尽相同，各级所能达到的压缩比也不相同。在中间各级的排气口出现沉淀物时，在这些部位上使用可拆的管道，用快速接头连接，不必拆开整台泵就能对泵进行清洗。轴承和密封处用水冷却，中间部分中空气冷却。这样可使转子和泵体的温差小。与被抽介质接触的表面耐腐蚀。转子由马达和齿轮转动，轴承和齿轮处有润滑。选用一种特殊的活塞环密封装置，以防润滑油蒸汽向泵腔内泄露。该四级为层状结构，检修方便，定位精度高。该泵有专用的监控系统，如泵温、压力、流量等由传感器来控制。为了安全运行，泵入口出设有过滤网，灰尘收集器及消音器。整个泵可装载一个罩内，对其进行吸气，以防止被抽气体的外泄。这种泵装载四个小滚轮上移动方便。
