真空泵机组涡旋泵动盘和静盘的啮合是泵的技术核心，其材料要保证在相对高速运动条件下耐高温，耐磨损和自润滑，并具良好加工性。真空泵机组涡旋盘副的加工精度和效率也是很重要的部分，要求用数控专用机床，一次装卡加工完成，保证线形和精度。由于涡旋盘副的特殊运动关系，材料要经过适当的表面处理，以达到耐高温，耐磨损和自润滑德国Leybold公司:德国Leybold公司是世界上最大的真空设备供应商之一，也是最早进入中国市场的国外真空设备厂家之一，近几年开发研制了涡旋泵，由于时间不长在国内的销量不大。德国Busch公司:德国Busch公司2001年进入中国大陆，对于中国大陆是一个新公司。Busch公司生产的干式泵有螺杆泵和涡旋泵。涡旋泵是两级形式，即两个动、静涡旋盘。Bucsh的涡旋泵不适合抽水蒸气，但其产品外型紧凑、美观，运转平稳，振动、噪音都较小，且不需要维修，2～3年更换密封件，维护简单、方便。涡旋泵的年销售量约几十台。英国BOCEdwards公司:英国BOCEdwards公司20世纪90年代开发了涡旋泵。
目前有两代涡旋泵产品。第一代产品由于轴承密封隔离不是很好，不能做到完全无油，故不推荐使用。第二代产品是单级涡旋设计。只有一个轴承，轴承与真空腔隔离，完全无油。并且装有控制系统，可变频控制0、50、60、70Hz，故性能较好。产品不需要维修，2～3年更换密封件，维护方便、简单，具有较强的抽水蒸气能力。BOC公司的涡旋泵在我国销量达100台/年左右。美国Varian公司:美国Varian公司1998年开发了涡旋泵，到目前已有三代涡旋泵产品。第一代产品已基本停产。第二通过技术改进，形成了风格独特的二级设计:第一级是三涡旋线同时抽气，可提高抽速，工作在从大气压到5．5×104Pa;第二级是单涡旋线，从5．5×104Pa到极限。一、二级同时工作，是真正的(从压力角度区分的)两级泵。第三代产品是在第二代产品上增加了控制系统。Varian公司的涡旋泵是其干式泵的主打产品，作为分子泵的前级主泵，不需要维修，2～3年更换密封件，维护方便、简单，因此在我国销量达100台/年以上。
