水环真空泵高真空系统中,由高真空油扩散泵和作为前级泵的油封式机械泵组成的排气系统复合分子泵得到广泛的应用。但是,水环真空泵与这些泵组合的前级泵仍然还是原来的油封式机械泵并在继续使用。还没有真正解决真空系统的无油污染的技术难题。因此迫使人们不得不在改进油封式机械泵上下功夫。有的将泵油改成PFPE油,加上过滤装置等,虽然解决了一些问题,然而大大增加了维修费用和时间,据有的资料介绍,而且技术先进的真空企业也都有不同产品出售。干式真空泵很早就出现了,但没有明确的定义。就代替油封式机械泵来说,一般通用的说法是:能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作;在泵的抽气流道(如泵腔)中,不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通,能连续向大气中排气的泵,即称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。,在各工业部门得到了普遍的应用。
在这样的真空系统中不可避免的要发生油蒸汽的返流、使真空容器遭到污染,而且在真空容器中进行作业所用的工艺气体会在油中溶解,改用PFPE合成油类和增加过滤元件等措施在LTO工艺上应用,每月需6000美元,6个月就要换泵。使得人们不得不再去研制新型的前级无油泵了。1984年以前研制过一些实验室和专门用途的干式泵。但价格昂贵,运行间隙过小很难在商业上推广应用。在1984年日本首先研制了工业收稿日期:2000-01-10作者简介:杨乃恒,男,67岁,教授、博导,辽阳人。上实用的干式泵,将罗茨泵进行六级串联。以后又出现罗茨和爪型转子组合起来的无油泵,总之相继出现了多种型式的干式泵,主要是为半导体产业使用的。工艺过程反应生成的颗粒状副产物也会在油中积聚,使油本身变质劣化。近来,主要是半导体产业发展提出的要求,作为高真空泵不要有油蒸汽存在,无油的涡轮分子泵。
