真空泵机组获得设备是一个量大面广的产品，根据罗茨泵的抽气机理，从原则上来说应该是无油的，但是罗茨泵真空泵机组的转子必须由轴承来支撑和精密的同步齿轮来传动，这些轴承和齿轮均需要润滑系统。当真空系统抽除腐蚀性气体或蒸汽时，随着真空技术应用领域的不断扩大，各种真空获得设备增长亦非常迅速。为满足真空应用发展的需要，特别是老产品不断更新，新产品不断出现，真空获得设备的发展正在进入一个新的时代。它是真空工程配套不可缺少的基础元件。近年来，但它的运动部件的惯性力和惯性力矩所产生的振动一直引起人们的注意；如美国KINNEY公司研制出三缸结构的滑阀泵，可实现滑阀组件自身平衡，降低了泵的振动与噪声，这种三缸内平衡的结构设计，可使滑阀泵的安装无需地脚螺栓固定，无需特殊的地基，可以直接安放在任何能支撑其重量的地面或支架上。
因而大大方便了用户的使用。又如罗茨泵在清洁或腐蚀性工艺中的应用，在半导体、平板显示、薄膜太阳能电池以及其他工况条件非常苛刻的化工、制药等行业，大都采用罗茨真空泵与干式真空泵组成的真空机组。一方面可以减少干泵尺寸，提高机组在中真空范围的抽速，另外极限真空也能提高一个数量级。其特点是：降低泵的振动和噪声，提高长期运行的可靠性，处理大量可凝性和挥发性气体，降低能耗和运行成本，消除废液处理和对环境的污染；要求耐腐蚀，耐粉尘以及获得清洁、无油的真空环境等。根据上述要求迫使真空获得设备制造厂家不断改进老产品的特性。如滑阀泵具有抽速大、性能稳定、经久耐用等特点，润滑油亦会受到侵蚀。美国Tuthill罗茨泵的密封装置有五点机械密封（KMBD系列），即除了在电机的输入端采用机械密封外，其余四个机械密封都用来作为泵腔与油箱之间的密封。这种全部是机械密封的罗茨真空泵特别适合于在工艺气体腐蚀性很强的场合应用。为了防腐蚀，这种罗茨泵的内部凡是接触到工艺气体的表面都要经过涂层处理（Ni0.076mm+Cr0.005mm），所有密封材料为全氟橡胶。
