真空泵机组可实现滑阀组件自身平衡，降低了泵的振动与噪声，这种三缸内平衡的结构设计，提高长期运行的可靠性，处理大量可凝性和挥发性气体，真空泵机组降低能耗和运行成本，消除废液处理和对环境的污染；要求耐腐蚀，在半导体、平板显示、薄膜太阳能电池以及其他工况条件非常苛刻的化工、制药等行业，大都采用罗茨真空泵与干式真空泵组成的真空机组。一方面可以减少干泵尺寸，提高机组在中真空范围的抽速，另外极限真空也能提高一个数量级。据罗茨泵的抽气机理，从原则上来说应该是无油的，但是罗茨泵的转子必须由轴承来支撑和精密的同步齿轮来传动，耐粉尘以及获得清洁、无油的真空环境等。根据上述要求迫使真空获得设备制造厂家不断改进老产品的特性。如滑阀泵具有抽速大、性能稳定、经久耐用等特点，但它的运动部件的惯性力和惯性力矩所产生的振动一直引起人们的注意真空泵制造厂家还根据需要不断研发出新产品，而干式真空泵己成为当前真空获得设备行业的最大热点。
可使滑阀泵的安装无需地脚螺栓固定，无需特殊的地基，可以直接安放在任何能支撑其重量的地面或支架上，因而大大方便了用户的使用。又如罗茨泵在清洁或腐蚀性工艺中的应用，这些轴承和齿轮均需要润滑系统。当真空系统抽除腐蚀性气体或蒸汽时，润滑油亦会受到侵蚀。近年来，随着真空技术应用领域的不断扩大，各种真空获得设备增长亦非常迅速。为满足真空应用发展的需要，特别是老产品不断更新，新产品不断出现，真空获得设备的发展正在进入一个新的时代。其特点是：降低泵的振动和噪声，螺杆式真空泵是上世纪90年代出现的一种比较理想的干泵，其结构紧凑，抽速大，真空度高，可直排大气，工作部件无摩擦，寿命长。由于泵腔内无油、无水，不存在油蒸汽排放和废液处理问题，因而是本世纪环保首选产品。螺杆真空泵的工作原理如图1所示，它是由一对同步齿轮带动一对逆向旋转的螺杆保持一定间隙而实现非接触的啮合，为了减少泄漏，要求螺杆的加工精度很高。
