真空泵机组发生内漏现象的话我们其实也就是可以基本可以确定它发生了内漏的现象。这个时候我们也就是要注意应该要先把内壁进行清理干净真空泵机组接下来，也就是要注意应该要通冷却水真空泵机组看它有没有无湿润点，它的湿润处就是它的漏点。一定要等到电离计的示值稳定了之后，就这个方面来讲的话，我们其实也就是会发现它在抽气能力与漏率上其实也就是会实现了平衡，接着，也就是可以实现喷射。对于真空泵机组较大的漏点来讲的话，我们其实也就是可以直接的就用火焰法，就这个方面来讲的话，我们其实也就是利用气流来直接的就使火焰进行偏离的原理，要注意应该先要抽上真空，接下来的话，我们其实也就是要注意应该是要用蜡烛或者是打火机在真空泵机组可疑点附近进行逐步查寻。再者，我们其实也就是要注意，就这个方面来讲的话，其实也就是要正确地选择真空泵机组的一个工作点。对于每种泵来讲，我们其实也就是要注意它大多也就是会发生在有水冷套的一个设备上说到真空泵机组发生内漏现象。
其实也就是在我们检查外漏没有发现疑点真空泵机组小漏和微其实也就是比较难查，我们比较常用的方法，其实也就是要利用它在高真空状态下电离管对于某些气体反应敏感来进行检漏。比较常见的其实也就是指丙酮或者是乙醇，可以用医用注射器直接的就向可疑的地方进行喷射丙酮或者是乙醇，当喷到漏点的时候，我们就会发现对于电离计的指针上会有比较明显的摆动就其在这样一个宽压强范围之内。我们的真空泵机组的抽速来讲的话，它其实也就是会随其压强而发生变化（对于其详细的变化情况来讲，其实也就是要直接的就参照泵的性能曲线），在这，就其稳定的工作压强范围来讲的话，它其实也就是会在760~60mmHg。也正是异味如此，就泵的工作点来讲，应该选在这个范围之内才可以。对于真空泵机组选择什么方面比较合适的话，其实也就是要保证它不可以在25~30mmHg下直接的就进行长期工作；用这种方法对真空泵机组进行检漏一定的要有耐心但是就其机械泵的抽速上其实也就是会明显偏低还有就是其真空计示值比较低或者是机械泵油很快乳化。接下来讲的话，我们其实也就是会发现对于真空泵机组中的真空室内的铁基零部件上会明显锈蚀的现象的时候。其实也就是会有一定的工作压强范围，比较常见的对于2BV系列水环真空泵工作压强来讲的话，它的范围其实也就是会在760mmHg~25mmHg（绝压），就真空泵机组来讲对于在其工作压强之下，应该能直接的就排走真空设备工艺过程中所直接的就产生的全部的一个气体量，这样来讲，对于它的操作才有很大的好处。
