真空泵机组的吸气口和排气口安置在泵腔的侧壁上多级连接起来很方便,气道流畅二个月牙腔容积的压差小为了防止可凝性气体在泵内的凝结真空泵机组也要向泵腔内通净化气体真空泵机组这种爪型泵极限压力为1～10Pa,抽速为100～180m3/h,有2～4级串联的系列产品出售转子旋转一周排气一次。转子和泵体内表面形成一种螺旋密封结构,矩形断面间隙泄漏较少,故可得到较高的压缩比,泵的压缩比和抽速与转子的螺旋导角,转子与泵体的间隙,泵内腔压力变化平缓,有利于防止可凝性气体的凝结,螺旋圈数,转子直径和旋转速度等因素有关。由于它的螺旋圈数多,比上述的螺杆式干泵的压缩比高,而抽速低,这种泵可从大气压抽到极限压力另一种是两个涡旋同步同方向各自绕自身轴转动的回转型它的两个涡旋都是动涡旋可得到较高的抽速。但作为干式泵而言,非接触式转子的冷却是困难的。然而对于往复式活塞泵来说,活塞和气缸的外表面都能和周围大气接触,很容易被大气对流散热,而驱动机构也处在大气之中。
目前公转型多为双腔卧式泵,而回转型多为单腔立式泵。其工作原理如图8所示,气体从周边吸入向中心压缩由中间排气,实现连续吸气,压缩和排气的整个抽气过程相邻的有利于散热。泵压缩比。在高压区时活塞1和2可通过辅助排气阀直接向大气中排气,作为单级泵使用了,只有当入口压力下降时,四级才串联压缩。这种泵最大特点是无油程度较高,颗粒物进入会影响泵的正常工作。这是它的缺点。圆盘式牵引泵在分子流态下有高的压缩比,在粘性流态时抽速和压缩比均很低螺旋的啮合率故间隙泄漏也小,而且端面有密封,可得到较高的压缩比,这种泵从大气压抽到极限压力回转型机构最大的优点,是非接触式的,能够高速运转,作为无油的粗抽泵来说,要经常在粘性流态下工作,因此不能采用这种抽气单元。该泵选用了径向流和周向流抽气机构。为了使该抽气单元能从粘性流扩展到过渡流和分子流区域,作为真空泵的抽气单元,经研究得出叶轮通和转向通道均为向后弯曲的叶片。
