真空泵机组是一种真空获得设备。近年来，真空泵的发展愈来愈受到应用场合的限制，传统的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，逐渐被无油清洁的真空获得系统所代替，干式螺杆真空泵机组就属于这类无油、干式运行的真空泵，其中内压缩螺杆真空泵可以大幅降低驱动能源，随着我国对节能环保要求的提升，能够实现干式运行和节能的内压缩干式螺杆真空泵已成为发展趋势。螺杆真空泵属于非接触型干式泵，核心元件是一对带啮合间隙的螺杆转子，成对螺杆性能直接影响整台螺杆真空泵的工作性能和竞争力，目前缺乏螺杆齿形设计方法和可靠的真空泵工作特性计算方法，因此对成对螺杆结构、真空泵的工作特性进行理论和试验研究，为干式螺杆真空泵的研发提供理论基础和设计依据，具有重要的实用价值和理论意义。
首先在积极借鉴、吸收相关理论和研究成果的基础上，展开了螺杆真空泵螺杆齿形和工作特性的研究，提出了密封型螺杆转子端面型线设计方法、三段式渐变和自平衡内压缩螺杆转子齿形的设计方法；然后，进行了螺杆真空泵的通道模型研究，遵循质量守恒定律，提出了基于孔径流量系数法的螺杆真空泵的工作特性计算方法，并展开了螺杆真空泵工作特性仿真与试验方法研究；最后，结合螺杆真空泵的仿真与试验结果，设计与开发了少级数内压缩螺杆真空泵。论文主要的研究内容和结果如下：第一章，阐述了论文的研究背景、目的和意义；综述了干式螺杆真空泵螺杆转子齿形、真空泵工作特性国内外研究现状、存在的问题和发展趋势，提出了论文的研究思路和主要研究内容。
