真空泵机组可以实现从105Pa到0.1Pa的工作范围排气能力强在干式模式下运行绿色环保广泛应用于电子光伏和医药化工等行业。早期真空泵机组由于制造技术的限制，内压缩螺杆真空泵由几级不同齿顶圆直径尺寸或不同螺旋角的等螺距螺杆在轴向方向串联而成。目前市场上广泛应用的内压缩螺杆有引导线渐进变化螺杆转子，动态平衡良好的变螺距双螺杆转子，共轭锥形螺。各种内部压缩的螺杆真空泵，采取的手段都是减少工作腔室的体积，修改传输阶段的工作型腔几何尺寸，包括沿轴线的引导线（螺旋角）、转子齿顶和齿根尺寸。随着现代制造技术的发展，各种高效节能的螺杆真空泵制造已经成为可能。市场上常见的外压缩等螺距螺杆真空泵引导线的导程数一般是4.5-6个，可以达到1Pa及以下的极限真空最早螺杆真空泵的引导线为常数，介质（主要是气体）在泵体内部等体积传输，在排气口压缩，属于外部压缩，能耗和噪声都较高。
从能效观点出发，工作气体是可以压缩的，泵的内部压缩是可以开发的，目前主要是通过控制螺杆真空泵内部压缩体积来压缩空气，从而控制压缩功率，来实现节能和降低噪声的目的。而上述大部分内压缩的螺杆真空泵一般是7-10个导程，才可以达到理想的极限真空度，究其原因还是考虑到了制造技术和制造成本，选用非严格密封的三段摆线式的型线或类似的型线。在实际使用过程，成对螺杆均匀间隙，对螺杆真空泵的极限真空、抽气速度、能耗、噪声、使用寿命等都具有相对大的影响。为使螺杆的啮合间隙均匀使用微分几何学中螺旋等距面的方法，对理论螺杆齿面按预定啮合间隙求其对应的等距面，进而根据得到的等距面求得螺杆端面型线，既可以重新设计间隙均匀的实体模型用于进一CAE等分析，也可用于某些加工场合的刀具设计和数值计算。
