真空泵机组气体的压缩依靠容积的变化来实现，而容积的变化又是借助一对转子在机壳内作回转运动来达到，只要在机壳上合理地配置吸真空泵机组排气孔口就能实现真空泵的基本工作过程——吸气、输送真空泵机组压缩及排气过程。螺杆真空泵工作过程中三种流态：粘滞流、转移流和分子流同时出现在工作型腔不同部位。传统的计算方法一般对单一模型有效，比如CFD法对粘滞流计算有效，而蒙特卡洛法计算分子流非常有用的。一般的螺杆真空泵内部工作压力范围0.1Pa-105Pa，压差较大，如何建立单一计算模型包含三种流态，用于样机的优化设计，是本章研究重点。由于螺杆真空泵实际工作过程十分复杂，所以必须进行适当的简化或假设，以便所建立的数学模型在有足够精度的前提下可以快速经济的得到结果。论文中的螺杆真空泵的工作工质为空气螺杆真空泵在工作过程中，吸气口压力小，排气口压力大，通常排气口一般与大气直接连接，排气口压力等于大气压，压差和各种通道的存在。
外部气体通过通道，返流回泵体，通过通道间隙返流的质量流量Gm也就是我们通常说的泄漏量。螺杆真空泵返流通道的类型影响着螺杆真空泵工作特性，比如抽气效率、极限真空度等。以螺杆齿形结构为特征，把螺杆真空泵返流通道类型简化为四种类型。这类通道是线面密封。利用孔径流量系数法计算间隙质量流返流，需要通道间隙面积，周向通道和齿形通道间隙的高度远小于齿顶圆半径，但长度较长，故将介质经过此两类间隙的流动看成是介质在两平行平板间的流动，三维啮合时，形成线面密封的效果，简化成平行平板的狭缝，流动方向上的间隙长度l为零，两个密封面形成三角，其中一个三角顶的边和另一个螺杆的面密封，密封效果都比前三种密封效果差，因此，为了提高密封效果，有必要把线面密封改为面面密封样变成面面密封，从周向密封效果最佳，由此可以得出结论，流动方向上的间隙长度l越长，密封效果越好，但是齿侧密封的倒角和圆角设计的越大，泄漏也越大。道连接不同的工作型腔，除了通道间隙面积影响间隙返流，不同通道类型连接影响着邻近压力比，以及在入口处的间隙气体的密度。通道类型不同。
