真空泵机组前级泵则采用了F-160A型牵引分子泵，这主要有以下几方面的考虑：首先，被抽容器所要求的极限真空度和工作真空度可以达到设计要求真空泵机组不同的泵都有各自的最佳工作抽速、压力范围，主泵的极限真空度应当高于被抽容器所要获得的工作真空度，保证被抽容器的工作真空度在这个范围内。神光Ⅲ终端光学组件运行时的工作真空度要求为Pa1018-，而作为主泵的F-150A型涡轮分子泵的设计极限真空为Pa1019-，显然符合要求。其次，真空室内被抽气体的种类、所占比例的情况符合真空环境的指标要求。神光Ⅲ终端光学组件在百级洁净室中组装，由于KDP晶体的物理特性以及激光传输的误差要求，其内部真空环境要求无油以及无其他碳氢化合物的污染，因此对真空机组的的要求是超高洁净真空。磁轴承分子泵采用磁悬浮轴承作为工作轴承，相比普通机械轴承以及其他精密陶瓷而言，不需用润滑油、润滑脂，这就避免了有机物对KDP晶体的污染，满足了终端组件的真空环境要求。在选定主泵的类型后，要对其抽速的大小进行具体的确定。
主泵抽速大小确定的主要考虑因素主要有真空容器的容积、最大排气量以及所要求的工作真空度和抽气时间。对于超高真空来说，漏、放气的影响显得特别严重，因为这时空间气体分子数密度已经很小，任何漏放气都会引起压强的较大增长。漏、放气的来源主要有表面吸附、体内扩散逸出、大气渗透作用、材料的蒸汽压等相关因素。在正常的工艺过程中，真空室内所产生的气流量应当由主泵及时抽走，以保证真空室内的压强负荷工作真空度的要求。前级泵往往会直接影响主泵的抽气性能，影响真空系统的抽气时间和经济效益，为了使前级泵能够及时排出主泵所排出的气体流量，一般根据如下的经验公式来配置前级泵的抽速主泵与前级泵的抽速初步配置完成后，就得选择合适的前级泵类型，这应遵循以下几点规则：首先，前级泵应保证能及时排出主泵所排的气流量；其次，前级泵应能使主泵出口处的压力低于主泵的最大工作压力；再次，兼做预抽泵的前级泵要满足预抽时间的要求。
