干式螺杆真空泵机组核心技术是螺杆齿形不同的齿形直接决定了泵的极限真空日立公司很早就把多头螺杆转子型线用在真空泵上，但该多头转子存在泄漏三角区，导致多头螺杆真空泵的极限真空度较低真空泵机组且其加工难度大，造价昂贵，因而该类螺杆真空泵市场占有比率少。为适应市场需求，国外各公司研发出了具有知识产权的单头螺杆转子型线，其中日本大晃株式等会社研发的型线由圆弧、摆线、阿基米德线组成。以上的螺杆真空泵的引导线为常数，介质（主要是气体）在泵体内部等体积传输，在排气口压缩，属于外部压缩指定齿顶和齿根圆弧尺寸后，设计固定，采用这种类型端面型线的螺杆设计简单，制造工艺简单，但采用这种型线的成对螺杆与泵体之间无法形成密封的型腔，要想取得理想的抽气效果，螺杆需要采用较小的导程、较多的级数。1996年描述了阿基米德线、其相对应的共轭线和凹摆线组成的螺杆端面型线，阿基米德线轴向投影是直线、该类螺杆式设计。
气体通路短，气体在泵体内停留时间也短，输送阶段无内部压缩，在很多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定，但其耗电量相对较高，排气量大抽气速率、容积效率、振动和噪声等技术性能指标的差异。螺杆齿形由螺杆转子端面型线沿轴向螺旋变化形成的，螺杆真空泵转子的端面型线由圆弧、渐开线、摆线、阿基米德线、其它二次曲线等曲线组成，一般通过啮合原理形成转子型线，主要分为单头转子型线和多头转子型线两种。螺杆转子源自螺杆压缩机的多头转子型线，排气脉动引起的噪声大.是常见的单头螺杆端面型线。首次描述了对称型的四段段摆线的螺杆端面型线，其端面型线的面积形心在中间对称轴上，凹摆线轴向投影也近似直线，可以采用阿基米德螺杆的制造工艺制造螺杆，但是理论上阿基米德共轭线无法接触齿顶或齿根，需要修齿形，对螺杆真空泵的性能有一定影响。但早期由于制造技术的限制，这两种形式的单头螺杆端面型线应用广泛。
