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爪型干式真空泵机组转子的优化设计

点击次数：   更新时间：2018-12-11 18:36     来源：http://www.zkbaa.com/ 【关闭】
             真空泵机组市场份额不断增长，主要用于半导体、化工、制药和薄膜等产业。在日本的半导体行业中，传统的油封式机械泵已经全部被无油干式真空泵所代替真空泵机组在欧美一些国家的半导体行业中有45%以上的油封式机械泵被无油干式真空泵所代替。国外市场上常见的干式真空泵的主要类型有爪型、罗茨型、涡旋型、螺杆型和往复活塞式、隔膜式等。英国的爱德华公司一直致力于真空泵的研发和制造，其年产爪型和罗茨型干式真空泵近万套，年销售额接近2亿美元，主要用于半导体、制药和化工等行业；日本的安耐特公司每年生产三叶型罗茨干式真空泵达8000套，主要用于化工、塑料、农药等行业，干式真空泵的发展空间十分广阔。德国的普旭、莱宝，美国的凯尼、日本的荏原、法国的国际真空行业巨头近些年都花费大量人力物力致力于研发制造高端、先进的干式真空泵。世界上第一台爪型干式真空泵于1985年在日本上市，并大量应用于日本当时发展迅速的半导体工业中。作为最早面世的干式真空泵之一。
            它除了具有泵腔内不含油和任何介质、清洁抽空无返油这些干式真空泵的共性外，还具有转子对悬浮在泵腔内，转子对间与泵腔间均无摩擦、可直排大气独立工作、可在高压强下长期连续工作等优点。英国的爱德华公司研制出一种罗茨转子与爪型转子相结合的干式真空泵，它利用了罗茨泵在低压下具有较高的抽气效率、爪型干式真空泵泵在高压强下具有较高的抽气效率，利用罗茨干式真空泵和爪型干式真空泵各自的优点开发出一款新的干式真空泵，其性能优于单个干式真空泵。国内干式真空泵的研究现状据统计，中国每年消费的半导体价值超过1千亿美元，占全球出货总量的近1/3，但中国半导体产值仅占全球的6%～7%，大部分还需要依赖进口。如果能够实现国产化，将需要建设多条大型生产线，需要干式真空泵几十万台才能满足需求。
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