内压缩螺杆水环真空泵抽气工作原理

点击次数：更新时间：2018-12-12 18:37 来源：http://www.zkbaa.com/ 【关闭】

水环真空泵密封型螺杆端面型线和内压缩螺杆设计方法建立不同类型通道间隙及其计算模型以及基于等熵流动的孔径流量系数法的质量流返流计算模型用于内压缩干式螺杆真空泵的工作特性的仿真设计水环真空泵研制具有自主知识产权的螺杆型线、变螺距螺杆齿形，用于内压缩干式螺杆真空泵。论文研究结果对于突破国外技术垄断，提升国内螺杆真空泵设计水平，丰富国内干式螺杆真空泵产品线，推动我国真空泵产业的产业结构调整，促进我国螺杆真空泵产业的健康发展，推广节能环保的干式螺杆真空泵产品的应用以及促进制造业的节能减排方面都具有重大的技术、社会和经济意义。真空泵核心技术是螺杆齿形，不同的齿形直接决定了泵的极限真空、抽气速率、容积效率、振动和噪声等技术性能指标的差异。螺杆齿形由螺杆转子端面型线沿轴向螺旋变化形成的，螺杆真空泵转子的端面型线由圆弧、渐开线、摆线、阿基米德线。
其它二次曲线等曲线组成，一般通过啮合原理形成转子型线，主要分为单头转子型线和多头转子型线两种。螺杆转子源自螺杆压缩机的多头转子型线，日立公司很早就把多头螺杆转子型线用在真空泵上，但该多头转子存在泄漏三角区，导致多头螺杆真空泵的极限真空度较低，且其加工难度大，造价昂贵，因而该类螺杆真空泵市场占有比率少。为适应市场需求，国外各公司研发出了具有知识产权的单头螺杆转子型线其中日本大晃株式等会社研发的型线由圆弧、摆线、阿基米德线组成。以上的螺杆真空泵的引导线为常数，介质（主要是气体）在泵体内部等体积传输，在排气口压缩，属于外部压缩，该类螺杆式设计，气体通路短，气体在泵体内停留时间也短，输送阶段无内部压缩，在很多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。

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