真空泵机组的选择与配置

点击次数：183 更新时间：2018-12-13 09:57:51 来源：http://www.zkbaa.com/ 【关闭】

真空泵机组这极大地推动了流体力学的发展。但实际工程中的许多流体力学问题都是非线性的，很难求得其精确的值。电子计算机的高速发展使得利用数值计算的方法来求解非线性流动的各种控制方程真空泵机组边界方程成为了可能，进而形成了这门学科。截至目前数值模拟在计算流体力学中的发展很快，国际上已经研究出多软件等泵类元件的设计是一个不断改进、优化的过程，借助于数值仿真环节，可以部分地克服这些传统设计、制造手段的弊端，使验证工作转到了计算机虚拟平台上，减少实验的工作量，降低成本，提高安全性。本课题主要采用计算流体力学仿真商用软件对牵引分子泵的流场流态进行了仿真分析。
真空机组主要指是不带真空室的排气系统，它由多种真空元件组成，主要包括真空泵、真空阀门、波纹管、真空计等元器件。真空机组均以主泵命名，目前国产的真空机组主要有油增压泵机组、扩散泵机组、钛吸附泵机组和分子泵机组，其中分子泵机组在半导体工业、航天试验以及一些其他领域有着广泛应用。真空机组的设计环节主要包括机组工作方案设计、真空泵和外围真空元件（真空阀门、规管、波纹管、密封件等）的选择、机组的参数计算等环节，下面主要从本课题所涉及到的这些项目进行说明。真空机组按照可实现的真空度可分为低真空机组、中高真空机组以及超高真空机组按照可获得真空环境的清洁度又可以分为普通真空机组和无油真空机组（也称干式真空机组）。低真空机组的主泵主要采用油封真空泵、水蒸气喷射泵、油蒸汽喷射泵等。低真空机组的主要特点是工作压力高，排气量大，但抽速比较低。多用于真空室的粗抽，以及放气量很大、工作压力较高的真空输送、真空过滤等装置中。

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