真空泵机组牵引分子泵的流场流态分析

点击次数：更新时间：2018-12-15 18:02 来源：http://www.zkbaa.com/ 【关闭】

真空泵机组目前设计的组件大体上布置了靶窗模块倍频模块、透镜模块和取样模块。KP晶体镜片以其独特的激光倍频性能真空泵机组作为终端光学组件中的核心元件，要求工作在洁净真空泵机组超高真空环境中，即真空室无油污等碳氢化合物污染并且工作真度不高于列出了终端光学组件工作真空环境的具体要求。传统真空机组配套的真空泵所采用的润滑、冷却技术都需要一定量的润滑油、润滑脂和冷却液，在系统达到一定真空度的时候，这些润滑油、润滑脂等有机物会由于物理扩散效应而进入到真空室内，即使在真空机组的管路环节加上液氮冷却阱、冷凝器等气体捕集装置也不能从根本上杜绝这些挥发性有机物进入真空室。无油真空泵（又称干式真空泵）作为洁净真空机组的核心元件，决定了获得真空环境的洁净度、真空度等指标，是主要的洁净真空获得设备。现代加工工艺和分子泵设计理论较之前有了很大发展。为了实现真空获得设备的清洁化、微型化，国外一些公司也已经开发出多个系列的由涡旋级转子与多螺旋槽牵引转子组成的复合式分子泵，并可以实现从高真空到大气的直接抽气，这可以认为是真空获得设备发展的重大突破。
磁悬浮轴承技术的发展给涡轮分子泵的研发带来了新的革命。应用磁悬浮轴承的分子泵，具有无需润滑、高转速、低振动、低噪音等优点，有利于提高分子泵的抽速和压缩比，获得无油真空环境。现在国际上的涡轮分子泵从极小型到超大型都有相关产品，小的才1.5Kg，而大泵则可达到3500kg，其中轴系设计以使用五自由度的磁悬浮支撑系统为主流这些单位在国内外的期刊、会议上发表过一批有价值的分子泵方面的学术论文，工程上研制出了一些具有创新结构的分子泵，还取得多项国内外发明专利。这些单位在分子泵方面所做的研究工作和取得的成果，对发展我国分子泵产品的种类和提高分子泵的研发水平都起到了很大的推动作用。哈工大现代设计实验室在磁悬浮轴承的研制方面具有近20年的历史，先后开发出了轴向磁悬浮支撑系统、五自由度磁悬浮轴承支撑的磨头等，还在磁悬浮分子泵控制系统的研制方面做了大量的研究工作。

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