真空泵机组中除了对性能起到决定性作用的真空泵外还包括真空阀门密封真空管道等辅助元件将真空泵比作机组心脏的话真空泵机组这些辅助元件就是机组的器官血管真空泵机组同样不可缺少。真空元件的选择直接影响着能否充分发挥出真空泵的性能以及真空机组整体的工作性能，可见其重要性。以下主要对真空阀门和真空测量反馈元件选择做简单的说明。通常根据真空阀门的传动原理连接方式工作特点和用途对其进行分类。国外按照阀门的动作特点将其分为插板式挡板式翻板式及微调式等阀门；按驱动方式将其分为气动磁动电动及手动等阀门。我国真空阀门也种类繁多，规格齐全，归纳起来有七大系列：真空插板阀系列真空蝶阀系列真空挡板阀系列真空电磁阀系列真空电磁带充气阀系列电磁压差充气阀系列真空球阀系列等。
真空泵机组中的真空测量仪作为真空控制系统反馈环节的信号采集元件，主要是将机组中某一特定位置的真空度自动反馈给控制系统或者进行人为察看，通过这些信号操作者或控制系统可以有根据地控制机组中阀门真空泵等主要元件的关闭，以隔断或疏通某一管路的气流，保证真空机组稳定可靠地工作。真空工程技术中习惯以各向同性的中性气体压力来表示真空度的高低。通常把用于测量比大气压力小的气体压力的测量仪器称为真空规管或真空计。精度要求。所选用的真空计测出来的数据要符合客观情况，精度和误差要符合工艺流程的要求，否则容易影响机组的工作性能。主要由规管和测量电路组成；冷阴极真空规管利用的是冷阴极放电原理，由被测气体分子所产生的离子流在某个压力范围内会与气体的压力成正比关系，便可以通过测量离子流的大小就可以反映被测气体压力值。
