真空泵机组真空系统方案解决的行业龙头限于技术上的瓶颈仍采用传统的真空机组（即以罗茨泵为前级泵、普通涡轮分子泵为主泵的真空泵机组）并没有很好地解决真空室污染的问题。为此甲方单位委托哈工大现代设计实验室进行该课题的预研提出解决方案。根据真空环境的技术指标要求本课题提出了超洁净分子泵机组的概念并进行设计分析。该装置的设计及后期的研制将有利于超洁净真空环境的获得为实现神光III工程后续任务的顺利进行提供技术保障。物理学上的真空指没有或者不计气体分子和原子存在的空间。从工程技术的观点来看真空泛指一个容器中的压力小于标准状态（0℃时1摩尔的气体分子有22.4升的体积存在的场合）下的一个大气压(1.01×105Pa)工业应用的真空环境一般按照真空度进行区分对于超高真空来说漏、放气的影响显得特别严重因为这时空间气体分子数密度已经很小任何漏放气都会引起压强的较大增长。漏、放气的来源主要有表面吸附、体内扩散逸出、大气渗透作用、材料的蒸汽压等相关因素。
在正常的工艺过程中真空室内所产生的气流量应当由主泵及时抽走以保证真空室内的压强负荷工作真空度的要求。次真空室内被抽气体的种类、所占比例的情况符合真空环境的指标要求。神光Ⅲ终端光学组件在百级洁净室中组装由于KDP晶体的物理特性以及激光传输的误差要求其内部真空环境要求无油以及无其他碳氢化合物的污染因此对真空机组的的要求是超高洁净真空。磁轴承分子泵采用磁悬浮轴承作为工作轴承相比普通机械轴承以及其他精密陶瓷而言不需用润滑油、润滑脂这就避免了有机物对KDP晶体的污染满足了终端组件的真空环境要求。主泵与前级泵的抽速初步配置完成后就得选择合适的前级泵类型这应遵循以下几点规则：首先前级泵应保证能及时排出主泵所排的气流量；其次前级泵应能使主泵出口处的压力低于主泵的最大工作压力；再次兼做预抽泵的前级泵要满足预抽时间的要求。
