无油水环真空泵的磁轴承分子泵

时间:2019-01-08 浏览:
            水环真空泵的核心元件,决定了获得真空环境的洁净度、真空度等指标,是主要的洁净真空获得设备。外干式真空泵市场的迅速发展水环真空泵主要驱动来源于薄膜、半导体、现代化工等产业的发展。1984年日本半导体产业发展迅速,急需大量的干泵,于是着手研制出了一种适于半导体工业应用的干式真空泵。它是将多级罗茨转子串联组成的多级干式泵。45%以上的欧美半导体行业相关厂家已经用了干式真空泵去代替油封式机械泵,大大提高了产品的质量和性能。磁悬浮轴承技术的发展给涡轮分子泵的研发带来了新的革。应用磁悬浮轴承的分子泵,具有无需润滑、高转速、低振动、低噪音等优点,有利于提高分子泵的抽速和压缩比,获得无油真空环境。这些单位在分子泵方面所做的研究工作和取得的成果,对发展我国分子泵产品的种类和提高分子泵的研发水平都起到了很大的推动作用。
             现代设计实验室在磁悬浮轴承的研制方面具有近2年的历史,先后开发出了轴向磁悬浮支撑系统、五自由度磁悬浮轴承支撑的磨头等,还在磁悬浮分子泵控制系统的研制方面做了大量的研究工作目前国内分子泵的制造厂商主要有沈阳科学仪器研究中心和北京科学仪器研究中心。我国在分子泵生产方面规格齐全,基本上能满足国内和出口的需要。由于磁悬浮分子泵技术在我国发展不成熟,在国外属于高度保密技术,因此国产的分子泵在性能上远远达不到国外的水平。泵类元件的设计是一个不断改进、优化的过程,借助于数值仿真环节,可以部分地克服这些传统设计、制造手段的弊端,使验证工作转到了计算机虚拟平台上,减少实验的工作量,降低成本,提高安全性。