真空泵机组基本上能满足国内和出口的需要但由于磁悬浮分子泵技术在我国发展不成熟，在国外属于高度保密技术真空泵机组因此国产的分子泵在性能上远远达不到国外的水平。本课题也在磁悬浮涡轮分子泵的设计进行了重点研究，力求实现可靠、洁净超高真空环境的获得。一些专家对流体力学的基本物理规律进行了研究，并有所收获，他们发现了求得线性问题解析解的一些合适方法，这极大地推动了流体力学的发展。但实际工程中的许多流体力学问题都是非线性的，很难求得其精确的值。电子计算机的高速发展使得利用数值计算的方法来求解非线性流动的各种控制方程、边界方程成为了可能证工作转到了计算机虚拟平台上，减少实验的工作量，降低成本，提高安全性。
采用计算流体力学仿真商用软件FLUENT6.3对牵引分子泵的流场流态进行了仿真分析。进行真空机组的总体方案设计。通过研究国内外洁净真空获得设备的发展历程和方向，结合终端组件工作指标要求，提出了超洁净分子泵机组的概念，同时进行了真空泵的配置、真空元件的选择，以及真空机组抽气性能的校验；真空机组均以主泵命名，目前国产的真空机组主要有油增压泵机组、扩散泵机组、钛吸附泵机组和分子泵机组，其中分子泵机组在半导体工业、航天试验以及一些其他领域有着广泛应用。真空机组的设计环节主要包括机组工作方案设计、真空泵和外围真空元件（真空阀门规管、波纹管、密封件等）的选择、机组的参数计算等环节，下面主要从本课题所涉及到的这些项目进行说明。
