真空泵机组是将真空泵与相应的真空元件按其性能要求组合起来构成的抽气装置。其特点是结构紧凑,安装使用方便真空泵机组真空抽气机组可以分为低真空抽气机组、中真空机组、高真空机组、超高真空机组、无油真空机组等。真空机组的名称以主泵命名,如:扩散泵机组、分子泵机组等低真空抽气机组低真空抽气机组的工作压力范围约在1330～100Pa之间,其主要特点是工作压力高、排气量大,抽速比中、高真空机组低。多用于真空室的粗抽以及放气量很大、工作压力又高的真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气(钢水处理)等装置中。低真空抽气机组的主泵常用往复式真空泵、油封式机械泵、干式机械泵、水喷射泵、水蒸汽喷射泵、水环泵,分子筛吸附泵、湿式罗茨泵等。一般情况下,低真空机组中的主泵均能直接排大气。
使用低真空抽气机组,还需要根据抽气体的清洁程度、湿度或其他特殊要求,配置必要的除尘器、水气分离器、油水分离器、干燥或挡油阱等部件油封机械泵机组抽除可凝性气体的措施油封机械泵不适于抽除含有大量水蒸汽的气体。水蒸汽在压缩过程中会凝结成水滴,并与泵油混合形成悬浮液,破坏泵的抽气性能,使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用带有气镇装置的油封机械泵,并使泵的工作温度控制在75～90℃之间,以减少气镇阀负担;在机组中安装水汽分离器或油水分离装置,将混有水的机械泵油进行处理,处理过的油再进入泵中使用;使用各种干燥吸附剂做成捕集阱吸收水蒸汽;使用各种冷凝器或冷阱,不仅能有效地吸附水蒸汽,同时还可阻挡机械泵的油蒸汽向真空室的返流。
