真空泵机组主要指是不带真空室的排气系统它由多种真空元件组成主要包括真空泵、真空阀门、波纹管、真空计等元器件。真空机泵组均以主泵命名目前国产的真空泵机组主要有油增压泵机组、扩散泵机组、钛吸附泵机组和分子泵机组其中分子泵机组在半导体工业、航天试验以及一些其他领域有着广泛应用。泵类元件的设计是一个不断改进、优化的过程借助于数值仿真环节可以部分地克服这些传统设计、制造手段的弊端使验证工作转到了计算机虚拟平台上减少实验的工作量降低成本提高安全性。本课题主要采用计算流体力学仿真商用软件对牵引分子泵的流场流态进行了仿真分析。进行真空机组的总体方案设计。通过研究国内外洁净真空获得设备的发展历程和方向结合终端组件工作指标要求提出了超洁净分子泵机组的概同时进行了真空泵的配置、真空元件的选择以及真空机组抽气性能的校验进行分子泵流场和结构的数值模拟。
针对多螺旋槽牵引分子泵设计理论不成熟抽气性能校验方法不完善的特点利用商用C对多螺旋槽结构的流场特性进行了数值模拟；针对涡轮分子泵中叶片结构紧凑、易发生破坏的特点利用有限元软件对涡轮分子泵中转子系统进行动力学特性仿真主要包括转子叶片固有频率、振型、离心变形、应力分布等方面。并且利用基于力锤激励的模态实验以F-350型涡轮分子泵的转子叶片为研究对象验证了所用分析软件在涡轮分子泵子叶片结构分析方面的可靠性低真空机组的主泵主要采用油封真空泵、水蒸气喷射泵、油蒸汽喷射泵等。低真空机组的主要特点是工作压力高，排气量大，但抽速比较低。多用于真空室的粗抽，以及放气量很大、工作压力较高的真空输送、真空过滤等装置中。中高真空机组常用以获得1~10-3Pa的工作压强，机组的主泵通常用油扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛泵等，这些基本不能直通大气，需要配置预抽泵或前级维持泵。
