高效真空泵机组由小功率的水环真空泵和防汽蚀的罗茨真空泵串联组成，蒸汽和不凝结气体进入罗茨真空泵，加压后经冷却器冷凝进入下级水环真空泵机组由于提高了水环真空泵的入口压力，可保证水环真空泵高效稳定运行，有效防止汽蚀的形成。高效真空泵机组中的水环真空泵，除了功率小、泵体小之外，其特性与普通水环真空泵一样。，改造后机组正常运行时主要以高效真空泵机组维持真空，实现一运两备，设备之间有可靠的联锁控制系统，因此，改造后系统备用可靠性加大了５０％。此外，罗茨真空泵结构决定其具有耐高真空的能力，由它做前置泵，可有效保证后置水环真空泵入口压力，克服了水环真空泵入口真空高时泵体水汽化引起机组真空波动大的缺点。
因此改造后机组真空系统的安全可靠性得到大幅提升。通过对某电厂３台燃气蒸汽联合循环机组凝汽器水环式抽真空系统的改造，用小功率罗茨真空泵与水环真空泵机组成高效真空泵机组，不仅可充分发挥两种泵的优点，还可以保证系统的抗汽蚀能力，以及保障系统的真空度，实现良好的节能效果。同时，高效真空泵机组的系统投入少，维护简单，运行稳定性高，改造方案不仅适合于联合循环机组，也适用于各火电厂机组的真空系统改造，具有良好的经济效益和推广价值。系统改造的主要投入包括２个方面，一是增设高性能真空泵机组，二是配套相应的管道和控制联锁逻辑等。改造后，机组正常运行时真空系统运行的电耗率明显降低，因此，其经济性主要体现在真空系统运行电耗的降低方面。正常运行时能耗高和容易发生汽蚀的问题，考虑到启动过程和正常运行时真空系统运行特性的不同，决定在原系统基础上构建改造方案，增加一套高效小功率真空泵机组，泵组由前置罗茨真空泵和后置水环泵组成。
