真空泵机组现代加工工艺和分子泵设计理论较之前有了很大发展。为了实现真空获得设备的清洁化、微型化真空泵机组国外一些公司也已经开发出多个系列的由涡旋级转子与多螺旋槽牵引转子组成的复合式分子泵，并可以实现从高真空到大气的直接抽气，这可以认为是真空获得设备发展的重大突破。典型的直排大气真空泵如英国的第二代，两者都可以实现从大气压抽到高真空EPX产品采用了创新的涡旋级结构，利用流体动力学、内流动机理和分子牵引的原理，实现了高真空的直排大气，适合中要求的半导体工业。EPX公司X180L型分子泵的结构如图其抽速为170h/m3，极限真空度可达mbar1014-?，噪音小于58dB。磁悬浮轴承技术的发展给涡轮分子泵的研发带来了新的革命应用磁悬浮轴承的分子泵，具有无需润滑、高转速、低振动、低噪音等优点，有利于提高分子泵的抽速和压缩比，获得无油真空环境。
现在国际上的涡轮分子泵从极小型到超大型都有相关产品，小的才1.5Kg，而大泵则可达到3500kg，其中轴系设计以使用五自由度的磁悬浮支撑系统为主流。我国于60年代成功研制了卧式涡轮分子泵，后来又迅速发展了铣制和扭制叶片的立式涡轮分子泵。80年代，中科院北京真空物理实验室与大专院校合作成功研制出双侧螺旋槽式和圆盘型复合分子泵。这些单位在国内外的期刊、会议上发表过一批有价值的分子泵方面的学术论文，工程上研制出了一些具有创新结构的分子泵，还取得多项国内外发明专利。这些单位在分子泵方面所做的研究工作和取得的成果，对发展我国分子泵产品的种类和提高分子泵的研发水平都起到了很大的推动作用。哈工大现代设计实验室在磁悬浮轴承的研制方面具有近20年的历史，先后开发出了轴向磁悬浮支撑系统、五自由度磁悬浮轴承支撑的磨头等，还在磁悬浮分子泵控制系统的研制方面做了大量的研究工作。
