真空泵机组随着科学技术的迅速发展真空技术、真空设备应用在许多领域特别是在工业、医疗、航天航空、新能源、生物科技等方面。真空泵机组真空镀膜行业的高速发展使真空镀膜机对真空获得设备有了更高的要求促进了真空获得设备的发展。物理气相沉积技术是指在真空条件下采用物理的方式将所需要镀制的材料气化或电离形成分子、原子、离子这些离子通过不同的方式达到衬底的表面并在衬底表面上堆积形成一层具有特殊性能的薄膜材料的薄膜制备技术。真空系统是真空镀膜设备中不可或缺的重要组成部分。物理气相沉积技术的首要条件就是该技术的整个工艺过程都是在高真空中进行的这包括物质的离化、溅射、沉积等过程。因此为制得综合性能良好的薄膜材料真空系统发挥着重要作用。气体的基本性质、真空的获得以及测量等方面的基础知识是了解真空镀膜技术的基础。真空镀膜机包括几个重要组成部分分别是真空获得系统、冷却系统、加热系统、镀膜室、电源控制系统等。
真空设备中的核心是真空机组真空机组是为真空设备正常工作提供所需真空度它的部件包括真空管道、真空阀门以及真空泵。良好的真空系统是制备高质量膜层的关键。因此设计一套满足真空镀膜机要求的真空系统是一项重要任务。磁控溅射离子镀技术是年代发展起来的一项薄膜沉积技术是物理气相沉积技术中最具发展潜力的薄膜制备技术之一。它具有工作压力低、薄膜纯度高、沉积速度快、基材温升低薄膜基体结合力好重复性好的能大面积沉积均匀性较好的薄膜等优点。磁控溅射离子镀技术设计性强、所镀膜层质量好可制备多纳米多层膜比如多层膜。薄膜就是在薄膜沉积时加入了元素在沉积过程中中的部分原子被原子替代从而得到具有和优点的薄膜。
