镀膜机真空泵机组设计方案

时间:2019-02-22 浏览:
          真空泵机组物理气相沉积技术的首要条件就是该技术的整个工艺过程都是在高真空中进行的这包括物质的离化溅射沉积等过程。因此为制得综合性能良好的薄膜材料真空系统发挥着重要作用。气体的基本性质真空泵机组真空的获得以及测量等方面的基础知识是了解真空镀膜技术的基础。真空镀膜机包括几个重要组成部分分别是真空获得系统冷却系统加热系统镀膜室电源控制系统等。真空设备中的核心是真空泵机组真空机组是为真空设备正常工作提供所需真空度它的部件包括真空管道真空阀门以及真空泵。小岛不断接受新的沉积原子而长大岛间的距离也渐渐缩小彼此相邻的小岛不断联接合并形成大岛。在大岛的形成过程中沉积继续进行空出来的基底上又会形成新的小岛两个过程是同时进行的。这些大岛和小岛不断合并形成一片薄膜此时的薄膜是不连续的上面存在许多沟道以及孔洞。随着沉积的继续进行随后沉积来的原子会填补这些孔洞最终形成连续的薄膜。
         这种生长方式取决于薄膜在形核阶段是通过二维扩展的模式沿衬底表面铺展而来的。此时的衬底与被沉积物质具有好的浸润性沉积在衬底表面的原子更愿意和衬底原子结合成键形成一连续的单分子层随后在第一层的基础上再生长一层分子层。持续这样层层叠加生长下来最后形成具有一定厚度且连续的薄膜膜的形成过程与设置的工艺参数条件基体的种类和靶材等因素有关。薄膜的生长要经历吸附迁移扩散晶核形成连续膜的形成等四个阶段。在实际中薄膜的生长过程很复杂受诸多因素的影响。其中包括原子的入射能量入射角度入射率沉积温度衬底的表面形貌沉积时间以及沉积原子之间的作用力等入射粒子在基底表面的扩散也与入射时粒子所携带的能量有关适当的增加能量能够改善薄膜的结构和性能。入射能量越高则越有利于薄膜表面原子的扩散从而有利于生成连续膜从热力学的角度分析入射原子的能量越高有利于形核速度的提高。这主要是因为高能量的原子在撞击基体表面时一部分动能转化为热能使基体局部温度升高。损失部分能量后原子剩余的动能还能在表面进行迁移。