涡旋真空泵机组是近年来国内外备受重视并得到迅速发展的一种真空泵机组。涡旋真空泵机组具有抽气通道内没有油污染泵结构简单运行成本低工作寿命长能耗低运行平稳噪音低等特点,得到了真空获得行业的欢迎与市场的青睐。而其在设计制造方面较高的技术含量,也受到国内外科技界的广泛重视。国际上真空获得设备的著名厂商争先投资研发生产这种先进的真空获得设备。到上个世纪后期,真空获得厂商应用涡旋概念与原理制造出了对真空应用仪器设备和环境没有污染抽速寿命能耗等指标均优于普通油真空泵机组的单级双级涡旋真空泵机组。涡旋真空在需要清洁无油廉价和长寿命真空泵机组的场所被大量应用,实现了全无油运行平稳噪音低节省能源的清洁真空获得技术的实用化。旋真空泵机组的涡旋盘就是一个一端与平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交叉组装在一起,两者之间由防自转机构保证180°相位差,这样结合组成的一对涡旋盘副构成了涡旋真空泵机组的基本抽气机构。
静涡旋盘与动涡旋盘彼此之间在几条直线上接触形成对称的几对月牙腔,动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动,使静涡旋盘与动涡旋盘的接触点沿涡旋曲面移动实现吸气压缩与排气循环。例如在双级涡旋真空泵机组中,有两个方向对应的静涡旋盘,一个位于两个静涡旋盘之间的动涡旋盘。动静涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸入排气口排出,完成吸气压缩排气的循环。真空应用行业具有极大的吸引力和潜在的应用价值。为了将涡旋机构的概念转化为实用的涡旋真空泵机组产品,近二十多年来,人们借鉴涡旋压缩机的设计与加工方面的经验,成功设计并生产出了主要由动静涡旋盘副与基座曲轴密封圈防自转机构和驱动电机等五个部分组成的涡旋真空泵机组。为了保证涡旋真空泵机组的工作性能指标高效率和可靠性,人们开展了大量理论研究与实验探索。
