真空泵机组磁控溅射技术在材料科学中的应用在材料科学中主要利用磁控溅射技术在工件的表面沉积一些功能薄膜用于材料的耐蚀、高温抗氧化、耐磨以及对于光学薄膜的导电性、导热性。相对于其他一些薄膜技术（比如热喷涂技术）采用磁控溅射技术沉积出的薄膜的力学性能较好。真空泵机组磁控溅射技术凭借它所镀制的薄膜具有良好的综合力学性能而广泛用于刀具行业。比如采用磁控溅射离子镀技术在各种刀具表面上制备薄膜使刀具的硬度、耐磨性、耐热性、高温抗氧化能力明显得到提高有效延长了刀具的使用寿命。在工业的快速发展中磁控溅射离子镀技术发挥了不可或缺的力量。真空镀膜技术是一种表面处理技术是将试样表面的化学性质、力学性质以及物理性质进行处理、改进从而在基体表面获得一层所需性能的薄膜的技术。真空镀膜机主要由真 空获得系统、电源系统、冷却系统、镀膜室、加热系统等几个部分组成。真空获得系统为真空镀膜提供所需要的工作真空环境是离子镀膜机的核心部件之一。
设计合理的真空机组将会使镀膜质量得到提高。本论文主要研究非平衡磁控溅射离子镀镀膜机真空机组的设计达到镀膜机镀膜所要求的性能并在硬质合金表面上制备多元多层复合薄膜并对所镀的薄膜进行检测分析不同靶电流工艺参数对薄膜结构组织和性能的影响。分子流是指分子在高真空管道内由于它的平均自由程很大可忽略分子之间的碰撞只考虑分子与管道内壁之间的碰撞情况。分子在分子流的状态下分子可以独立而自由地通过管道。高真空中气体在管道中运动主要是以分子流的形式运动。经常使用的真空泵有罗茨泵、水环泵、油封机械泵、往复式真空泵、大气喷射泵、水蒸气喷射泵、分子筛吸附泵等。这些泵中大部分可以单独使用但是有些泵不能直接排气到大气中需要配有前级泵比如罗茨泵和油蒸汽喷射泵。
