真空泵机组而其在设计、制造方面较高的技术含量也受到国内外科技界的广泛重视。国际上真空获得设备的著名厂商争先投资研发生产这种先进的真空泵机组真空获得设备。到上个世纪后期真空获得厂商应用涡旋概念与原理制造出了对真空应用仪器设备和环境没有污染、抽速、寿命、能耗等指标均优于普通油真空泵的单级、双级涡旋真空泵。涡旋真空泵在需要清洁无油、廉价和长寿命真空泵的场所被大量应用实现了全无油、运行平稳、噪音低、节省能源的清洁真空获得技术的实用化。涡旋真空泵的工作原理来源于的一项发明专利。该发明采用一个在另一个内部一个固定另一个转动的具有连续的分离、连续的闭合性能的“等螺距渐开线”研发一种旋转压缩机。涡旋的形状被定义为绕固定的轴心展开直线的轨迹。涡旋真空泵的涡旋盘就是一个一端与平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。
一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交叉组装在一起两者之间由防自转机构保证180°相位差这样结合组成的一对涡旋盘副构成了涡旋真空泵的基本抽气机构。真空应用行业具有极大的吸引力和潜在的应用价值。为了将涡旋机构的概念转化为实用的涡旋真空泵产品近二十多年来人们借鉴涡旋压缩机的设计与加工方面的经验成功设计并生产出了主要由动、静涡旋盘副与基座、曲轴、密封圈、防自转机构和驱动电机等五个部分组成的涡旋真空泵。为了保证涡旋真空泵的工作性能指标、高效率和可靠性人们开展了大量理论研究与实验探索。动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动使静涡旋盘与动涡旋盘的接触点沿涡旋曲面移动实现吸气、压缩与排气循环。例如在双级涡旋真空泵中有两个方向对应的静涡旋盘一个位于两个静涡旋盘之间的动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸入、排气口排出完成吸气、压缩、排气的循环。
