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真空泵机组低真空抽气机组

点击次数:2087 更新时间:2019-03-26 09:46:34 来源:http://www.zkbaa.com/ 【关闭
            真空泵机组低真空抽气机组的主泵常用往复式真空泵油封式机械泵干式机械泵、水喷射泵、水蒸汽喷射泵、水环泵,分子筛吸附泵、湿式罗茨泵等。一般情况下,低真空机组中的主泵均能直接排大气。真空泵机组使用低真空抽气机组,还需要根据被抽气体的清洁程度、湿度或其他特殊要求,配置必要的除尘器、水气分离器、油水分离器、干燥或挡油阱等部件。以减少气镇阀负担;在机组中安装水汽分离器或油水分离装置,将混有水的机械泵油进行处理,处理过的油再进入泵中使用;使用各种干燥吸附剂做成捕集阱吸收水蒸汽;使用各种冷凝器或冷阱,不仅能有效地吸附水蒸汽,同时还可阻挡机械泵的油蒸汽向真空室的返流。中真空机组的工作压力范围约在100~0.1Pa之间,其常用的主泵有油增压泵、机械增压泵(罗茨泵)等,机组适用于需要大抽速和获得低、高真空的各种真空系统中。
           可广泛用于镀膜机、真空冶炼、真空热处理、化工、医药、电工、焊接等行业。普通罗茨真空泵作为机组的主泵,也可选用带旁通压差阀的罗茨泵,前者须在系统被前级泵抽到罗茨泵允许的起动压力时才能起动主泵工作。后者由于罗茨泵带旁通压差阀,所以罗茨泵可在较高的入口压力时运转而不发生过载和过热现象,因此主泵可以在前级泵工作后,根据系统的实际情况来决定它的起动压力。对于小型机组,还可以两泵同时起动,以加大抽速和缩短抽气时间。高真抽气机组在分子流状态下工作,与低真空机组相比,其特点是工作压力较低(10-2~10-6Pa)、排气量小、抽速大。机组的主泵通常为扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛升华泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作,因此需要配置预抽泵和前级泵、有些扩散泵高真空抽气机组还配有前级维持泵或贮气罐,以防止系统内的气压波动,改善机组的抽气性能。

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