真空泵机组在机组中安装水汽分离器或油水分离装置将混有水的机械泵油进行处理处理过的油再进入泵中使用;真空泵机组使用各种干燥吸附剂做成捕集阱吸收水蒸汽; 使用各种冷凝器或冷阱不仅能有效地吸附水蒸汽,同时还可阻挡机械泵的油蒸汽向真空室的返流低真空抽气机组的主泵常用往复式真空泵油封式机械泵干式机械泵水喷射泵水蒸汽喷射泵水环泵分子筛吸附泵湿式罗茨泵等。一般情况下低真空机组中的主泵均能直接排大气。使用低真空抽气机组还需要根据被抽气体的清洁程度湿度或其他特殊要求配置必要的除尘器水气分离器油水分离器干燥或挡油阱等部件。因此要求预抽泵所达到的压力要小于主泵的启动工作压力,机组所选用预抽泵的抽速大小由粗抽时间决定。为了提高真空机组的利用率预抽泵可以兼做前级泵用两种不同抽气功能之间靠真空阀门来分隔和切换。
工作时先开动水环泵以获得大气喷射泵所需的预真空使大气喷射泵的进气口与出气口之间有力差大气便通过喷射进入泵内形成高速运动气流将被抽气体吸入经扩压器到前级被水环泵排走。机组的主泵通常为扩散泵扩散增压泵分子泵钛升华泵低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作因此需要配置预抽泵和前级泵有些扩散泵高真空抽气机组还配有前级维持泵或贮气罐以防止系统内的气压波动改善机组的抽气性能。往往为了缩短工作周期而不停止主泵将高真空阀门和前级管道阀门关闭使主泵仍处于工作状态。由于阀门等总是有极少量的漏气以及阀门和泵内的表面放气经过一定时间后主泵泵腔内的压力增加超过泵工作液的最大允许压力而使泵油蒸气氧化。
