罗茨真空泵机组是一种无内压缩的旋转变容式真空泵。是利用两个8字形转子在泵壳中旋转而产生吸气和排气作用的。罗茨真空泵机组工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触，不需要用油润滑。
1、转子与泵腔、转子与转子之间有一定的间隙，互不接触，不需要用油润滑。
2、转子具有良好的几何对称性，可以提高转速，从而能够制造出结构紧凑的大抽速泵来。
3、泵工作时振动小，容积大，容积利用系数=0、5左右。
4、在泵腔内并不发生像机械真空泵那样的压缩现象，因此它不需要排气阀。也正因如此，可抽除可凝性蒸汽。
5、启动快，能够在短时间内达到极限真空。功率小，运转维护费用低。
6、罗茨真空泵机组在很宽的压力范围内（1000Pa~1Pa）有很大的抽速，能迅速排出突然放出的气体，弥补了扩散泵和油封机械泵（1000Pa~1Pa）时抽速都很小的缺陷。因此，它最适合作增压泵用。
罗茨真空机组在一般情况下，选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，这主要是由于它能够抽除大量的可凝性蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或使用的溶剂能使泵油恶化而影响性能，或者是真空系统不允许油污染的时候更为明显。
真空泵机组投入使用前，必需仔细检查各部位紧固件是否有松动现象，若有松动必需校正拧紧。开车前水箱必需加满水，打开泵进口阀，再运行耐腐泵，严禁泵脱水空转及反转，以防止损坏机封、叶轮及泵体其它部件。在使用真空泵机组时，管路一定要保持水平，真空泵机组在装置蒸汽管路时，要防止管内有积水，否则将影响真空效果。
