水环式真空泵工作液由原来的水改为变压器油，其极限真空度因油的饱和蒸汽压较低得到较高的提升。在抽除污染较大的气体及在某些特殊工作场合时，水环式真空泵的工作液也可用其它液体（可用甲醇、乙醇、二甲苯、苯胺、丙酮等粘度较低的有机溶剂），其极限真空度由工作液的饱和蒸汽压决定。油环真空泵可在20~90℃工作，所以其在抽除水蒸气等气体时因油温较高，水蒸气不易凝结，所以泵油不易被乳化，从而提高了泵油的使用寿命。使用有机溶剂作为工作液时，应注意电机是否防爆，对真空泵及其密封件的腐蚀问题。泵的叶轮、圆盘等采用防汽蚀能力较强材料
不同的材料抗汽蚀能力有十分明显的区别。响材料抗剥蚀能力的因素很多，通常具有高硬度和高弹性的材料抗剥蚀能力较强。国外推荐低碳铬镍合金钢，如13Cr4N作为在汽蚀状态下工作的水力机械材料，具有较好的抗剥蚀性能。对叶轮涂层的方法比较常用，非金属涂料涂敷采用环氧树脂、尼龙粉、聚氨酯等。在流道表面堆焊合金或喷涂合金防止汽蚀破坏也取得了一定效果，如不锈钢焊条堆焊法、不锈钢板镶焊修补法、合金粉末喷焊。就非金属和合金（包括不锈钢）的几种方法比较，非金属涂层方式经济，但应当对其操作工艺严格控制，以防止涂层脱落。采用合金粉末喷焊效果好但成本高，
