真空泵机组是真空技术中最根本的真空获得设备之一。它的工作压力范围为一。它可以单独使用或者作为其他真空泵机组的前级泵,用以抽出密封容器中的干燥气体。如果附有气镇装置,还可以抽出一定量的可凝性气体,被广泛应用于冶金、机械、电子、化工、轻工、石油及医药等领域。但旋片泵不适合用于抽出含氧过高的、有爆炸性的、对金属有腐蚀性的、与泵油会发生化学反应的、含有颗粒尘埃的气体。
真空泵机组的发展状况自年盖德发明旋片泵并取得德国专利,年又发明气镇泵,年取得专利以来,旋片真空泵机组得到广泛应用和不断完善。年代末,国际上出现了提高转速、直联的小型化趋势,年代初出现了直联系列产品,到年代初,又推出了改进的系列产品,有多种可供用户选配的附件,可以保护泵,或保护环境,泵本身结构也有改进而使可靠性提高。在泵的结构方面,为了能在停泵时防止返油,有的设有能自动切断油路的止回阀,有的设有进气通道截止阀,有的为了能在泵开气镇运转突然停电时自动切断气路来保持泵口处于真空状态而设有油泵和控制结构。