罗茨泵是一种容积式真空泵机组

时间:2018-01-10 浏览:
        真空泵机组抽气原理罗茨泵是一种容积式真空泵,三根轴水平平行安装,转子与转子、真空泵机组转子与泵壁间彼此无接触,依靠间隙密封。如图 1 所示,中间轴为主动轴,与其相连接的为主动转子,左右两边的轴为从动轴,与其相连接的为从动转子。主动轴经由轴端的同步齿轮带动两侧的从动轴,从而带动主动转子分别与两侧的从动转子进行啮合。
       主动轴顺时针旋转,两从动轴逆时针旋转,图中标出了进气口与排气口的位置抽气式三轴罗茨泵抽气原理示意图转子处于(a)中所示位置,气体分别从布置在两侧的进气口进入,转子旋转至图所示位置时,主动转子与两从动转子分别密封裹住一部分气体。旋转至图 1(c)所示位置,两从动转子分别带动密封腔内的气体旋转,而主动转子则与两从动转子相啮合,经过出气口,排出一部分气体,另外还残余一部分气体。当旋转至图 1(d)所示位置时,主动转子与两从动转子相互啮合,将上一次未排尽的气体尽数排出,并且再次密封了两个腔的气体,准备排出。而且此时两从动转子分别密封了两个腔的气体,并带动气体随转子旋转。