真空泵机组在此工况下的罗茨泵，气体温度要远远高于室温，由于泵腔有水冷系统的存在，真空泵机组取气体工作时的温度60℃。间隙的总面积A由以下几部分组成:转子与泵壳间隙δ1，转子与转子间隙δ2和转子与泵壳侧壁间隙δ3、δ4。经过计算三轴罗茨泵其零流量压缩比为K0=8.4，对于双轴式罗茨泵其K0=6.1。由此可以看出，三轴式罗茨泵的零流量压缩比明显高于双轴式罗茨泵的，大约高出37.7%。这是因为与双轴式罗茨泵相比，三轴式罗茨泵的抽速sth较间隙流导C增加得很快。值得注意的是罗茨泵的零流量压缩比与前级压力有关，前级压力的大小决定了泵工作在何种流态。上述零流量压缩比计算针对于粘滞流态，当前级压力降低，其会向分子流态过渡，返流减少，零流量压缩比势必会增大。
基于有限元分析方法，对三轴罗茨泵的转子体做强度分析，并与双轴式罗茨泵做比较。如图 5 所示，为待分析的三轴转子体系统。将模型导入 ansys中，对其自由划分网格并指定材料，采用精度较高的20 节点 SOLID186 单元划分网格。对转子体施加轴承约束，一端固定(固定端)，另一端径向固定，轴向自由(游动端)。
