活塞型无油机械真空泵机组结构简单、加工容易、性能可靠、使用方便。这种真空泵机组的性能和部分生产厂家当入口在高压力区1,2腔可通过辅助排气阀直接向大气中排气,当入口压力下降到不能推开辅助排气阀时,三级腔才串联压缩。这种泵的主要缺点除不能抽出带颗粒的气体外,其寿命受到活塞和吸排气阀寿命的影响,需要定期更换。螺杆式与活塞式真空泵机组都属于容积式真空泵机组。其主要优点是:①零部件少,没有易损件,因而寿命长;②动平衡性好,没有不平衡惯性力,工作平稳;③无喘振现象,实现连续排气;④可以抽除含水蒸气、粉尘的气体。
主要缺点是造价高,转子齿面是一空间曲面,需利用特制刀具和专用机床;气缸的加工精度要求也高。螺杆式无油真空泵机组的工作循环可分为吸气、压缩和排气3个过程。随着转子旋转,一对齿的工作吸气过程 如图3所示,所研究的一对齿用箭头标出,图中阳转子按逆时针旋转,为主动转子循环齿前端型线完全啮合。随着转子转动,逐渐脱离啮合,形成了齿间容积,内部形成了一定的真空,气体在压差作用下,从吸气口流入齿间容积,如图(b)中阴影部分所示。随着转子旋转,齿间容积不断扩大,并与吸气口保持相通,其过程有如活塞(阳转子)在气缸(阴转子)中滑动吸气。